Con il termine soft-lithography si identifica una famiglia di tecniche per la replicazione rapida di superfici strutturate che impiega stampi elastomerici e fotomaschere conformi. E’ detta "soft" perché utilizza materiali elastomerici, in particolare PDMS. La tecnica soft-litografica viene generalmente utilizzata per realizzare copie di strutture su scala micrometrica e nanometrica.

Presso il laboratorio LaNN è stato implementato un processo soft-litografico per realizzare repliche ad alta fedeltà di diversi elementi nano-ottici 3D fabbricati mediante litografia a fascio elettronico (EBL). A partire dai master originali, sono stati riprodotti con precisione ologrammi generati al computer (CGH), maschere di fase (SPP) ed elementi ottici diffrattivi (DOE). Il grado di precisione delle repliche fabbricate è stato testato otticamente confrontandolo con quello dei masters originali.