PROCESSO. La spettroscopia ellissometrica è una tecnica ottica non invasiva per lo studio delle proprietà dielettriche di film sottili che viene realizzata senza entrare a contatto con il materiale da analizzare. Tramite l'analisi della variazione della polarizzazione della luce riflessa da un campione, l'ellissometria può fornire informazioni sullo spessore di film sottili con una risoluzione che sfiora il singolo strato atomico, sulle loro cristallinità e qualità ottica, sulle caratteristiche superficiali come la rugosità, sulla composizione chimica e sull’anisotropia ottica.

APPLICAZIONI. La tecnica ellissometrica può essere efficacemente applicata allo studio di sistemi a più strati e recentemente ne è stato introdotto l’uso per le analisi di superfici liquide e per l’imaging microscopico. La spettroscopia ellissometrica trova applicazione in innumerevoli campi, dalla fisica dei semiconduttori alla microelettronica, alla medicina ed alla biologia, dalla ricerca di base alle applicazioni industriali.

STRUMENTAZIONE. Il laboratorio LaNN è dotato di un sistema J.A. Woollam VASE (Variable Angle Spectroscopic Ellipsometer), per analisi in riflessione e trasmissione. E’ un ellissometro accurato e versatile per la ricerca su tutti i tipi di materiali: semiconduttori, dielettrici, polimeri, metalli, multi-strati ed altro ancora. Combina un’elevata accuratezza e precisione ad un'ampia gamma spettrale: da 193 a 3200nm. La variabilità nella lunghezza d'onda e nell'angolo di incidenza consentono una flessibilità nelle capacità di misura, che include:

• Ellissometria in riflessione e trasmissione
• Ellissometria generalizzata (anisotropia, ritardanza, birifrangenza)
• R/T cross-polarizzata
• Depolarizzazione
• Scatterometria
• Mueller-matrix

Principali Caratteristiche:

• Gamma spettrale: da 193 a 3200nm